Massenspektrometer RGAProzessPMT
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Eigenschaften
- Typ
- Massen
- Bereich
- Prozess
- Detektortyp
- PMT
Beschreibung
Die RGA Reihe, hergestellt durch MKS Instrumente, ist eine Art Prozeßmassenspektrometer. Die Vorrichtung ist ein erfinderisches Prozeßüberwachunginstrument. Sie werden mit Anwendersoftwares wie Restgasanalysatoren, RGA, analytische Vorrichtungen und Steuer-Software kombiniert.
Die Vakuumüberwachung bestehen den ultra Hochvakuum-, CVD Prozessen, Vakuumgrundlinie RGA, aus etc.
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Kataloge
Residual Gas Analysis
6 Seiten
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