Der Multigas Analysator, hergestellt durch MKS Intruments, wird besonders für Prozeßgas benutzt. Die Vorrichtung verwendet eine Infrarot Fourier-Transformation (FTIR) und einen nondispersive Infrared (NDIR). Die Vorrichtung ist auch zum ppb zur PPMs Empfindlichkeit für Gase wie NF3, NH3, H2, NR. und N2O fähig. Sie kann auf Gasen mit 30% Wasser auch verwendet werden.
---