Hochkonzentrierter Ozongenerator SEMOZON® AX8410 PRIME

Laborkompakt

Der SEMOZON® AX8410 PRIME ist das erste Produktangebot in der nächsten Generation der MKS-Plattform für kompakte, hochkonzentrierte, hochdurchflussige, ultrareine Ozongeneratoren. Es verfügt über eine neu entwickelte Zellen- und Leistungsstruktur, die eine Verdoppelung der Ozonleistung gegenüber früheren Modellen mit ähnlicher Grundfläche ermöglicht. Der SEMOZON® AX8410 PRIME wandelt Sauerstoff durch stille elektrische Entladung in Ozon um. Das neuartige, patentierte Zelldesign unterstützt neue Prozessanforderungen, die höhere Ozonkonzentrationen bei Durchflussraten von bis zu 80 slm erfordern. Die erhöhte Durchflussrate und die höhere Konzentration positionieren den AX8410 PRIME-Generator, um die Ozonanforderungen für die nächste Generation von Halbleiterprozessen zu erfüllen.