Thermischer Massen Durchflussregler IM50A

für Gas

Der IM50A Mengenfluss-Steuerpult u. das Mengenfluss-Messinstrument sind ein universeller Zweck, Metall-Siegel-Kraftstoffregler mit Steuerung des Datenflussesfähigkeit von 5 sccm zu kompletten slm 50, N2äquivalent. Es enthält das späteste in der digitalen Steuerung des Datenflusseselektronik und in einem erwiesenen, patentierten thermischen Sensor und in einem mechanischen Entwurf. Das IM50A ist ein digitalgesteuerter Kraftstoffregler, der mit Entsprechung angeboten wird (0 bis 5 VDC oder 4-20 MA) oder einer Vielzahl digitalen (RS485, Profibus® und DeviceNet™) Inputs/Output. Die Digitalsteuerungs-Elektronik verwenden das späteste in den MKS Steueralgorithmen für schnelle und wiederholbare Antwort zu setpoint während der Steuerstrecke. Typische Antwortzeiten sind auf dem Auftrag von 500 Millisekunden. Eine digitale Kalibrierung (eingeschlossen) erbringt 1% von setpoint Genauigkeit auf dem Kalibrierungsgas.