Das Rundheits-/Zylindrizitätsmesssystem kombiniert Weltklasse-Genauigkeit mit überlegener Manövrierfähigkeit und analytischen Fähigkeiten
Weltklasse-Genauigkeit mit hervorragender Manövrierfähigkeit
Weltklasse-Genauigkeit
Hochpräziser, automatisch zentrierender/nivellierender Drehtisch
Ein hochpräziser, hochsteifer Drehtisch wurde durch eine außergewöhnliche Fertigungsgenauigkeit der kritischen Komponenten erreicht, zusätzlich zu einer hochpräzisen Luftlagerung, die eine überragende Steifigkeit bietet. Die resultierende Rotationsgenauigkeit, das Herzstück des Rundheits-/Zylindrizitätsmesssystems, ist mit (0,02+3,5H/10000)pm Weltklasse.
Hochsteife Basis
Damit ein Messsystem eine hohe Genauigkeit erreichen kann, muss die Basis, die das Fundament des Systems bildet, vollkommen steif sein. Daher haben wir die Basis und ihre Anwendung mithilfe der FEM-Strukturanalyse-Simulation gründlich analysiert. Das Ergebnis ist die Entwicklung einer hochsteifen Basis.
Hochpräzise Z-Achsen-Säule
Die ultimative Verbesserung der Fertigungsgenauigkeit der Führungsfläche der Säule, die für das Erreichen einer perfekten Geradheit entscheidend ist, und die Übernahme des proprietären Systems und der Mechanismen von Mitutoyo haben zum Erreichen einer ultrahohen Geradheit der Säule von 0,05prrV100mm (im engen Bereich) geführt.
Hochpräzise Positionierungssensoren
Die Positionierungssensoren in den Antriebseinheiten der X- und Z-Achse sind mit Linearencodern von Mitutoyo ausgestattet, um die Verschiebung der Einheiten direkt zu erfassen und so eine hochgenaue Positionierung zu erreichen, die für Wiederholungsmessungen unerlässlich ist.
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