Halbautomatische Messanlage SPS-HP series

Halbautomatische Messanlage - SPS-HP series - Microxact
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Eigenschaften

Typ
halbautomatisch

Beschreibung

Hochpräzise halbautomatische Systeme - Motorisiertes XY-Futter, motorisierte Z-Bewegung des Futters in Standardkonfiguration. Motorisierte Theta-Bewegung ist eine Option. - Schrittmotorbasierte, lineare Encoder. - Kostengünstig für die Positionierungsspezifikationen. - Ideal für Kleinserienproduktion, Tests und Chrakterisierung. Spezifikationen - Wafer-Größe Bis zu 300 mm - Motor-Typ Schrittmotor - XY Verfahrweg des Tisches Bis zu 300mmx300mm - XY-Tisch Auflösung, Wiederholgenauigkeit Motorisiert, 0,15μm Auflösung, +/-1,2μm Wiederholbarkeit - XY-Geschwindigkeit (max) 50mm/s - Z-Geschwindigkeit (max.) 10mm/s - Verfahrweg der Aufspannplatte 12.7mm oder 25mm - Einstellung der Druckplatte Zweifache Grob- und Feineinstellung mit einer Wiederholgenauigkeit von mehr als 1µm - Planarität der Aufspannplatte <12,7μm über 200mm - Steifigkeit der Aufspannplatte <50μm für 4,5kg - Vakuum-Spannvorrichtung Multi-Zonen-Vakuum - Ebenheit der Aufspannplatte +/-13μm - Durchschlagsspannung der Spannvorrichtung Mindestens 500 V - Isolierung des Futters Mindestens 1GΩ - Futter-Einstellung 360° grob, +/-6° fein - Mikroskop Hochwertiges Stereo-Zoom mit bis zu 200 mm Arbeitsabstand und einer Vergrößerung von 3,5X bis 180X - Durchführungsklemmen BNC, Triax oder Bananenstecker - System-Abmessungen 101cm breit x91cm tief x 88cm hoch

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.