Hochpräzise halbautomatische Systeme
- Motorisiertes XY-Futter, motorisierte Z-Bewegung des Futters in Standardkonfiguration. Motorisierte Theta-Bewegung ist eine Option.
- Schrittmotorbasierte, lineare Encoder.
- Kostengünstig für die Positionierungsspezifikationen.
- Ideal für Kleinserienproduktion, Tests und Chrakterisierung.
Spezifikationen
- Wafer-Größe
Bis zu 300 mm
- Motor-Typ
Schrittmotor
- XY Verfahrweg des Tisches
Bis zu 300mmx300mm
- XY-Tisch Auflösung, Wiederholgenauigkeit
Motorisiert, 0,15μm Auflösung, +/-1,2μm Wiederholbarkeit
- XY-Geschwindigkeit (max)
50mm/s
- Z-Geschwindigkeit (max.)
10mm/s
- Verfahrweg der Aufspannplatte
12.7mm oder 25mm
- Einstellung der Druckplatte
Zweifache Grob- und Feineinstellung mit einer Wiederholgenauigkeit von mehr als 1µm
- Planarität der Aufspannplatte
<12,7μm über 200mm
- Steifigkeit der Aufspannplatte
<50μm für 4,5kg
- Vakuum-Spannvorrichtung
Multi-Zonen-Vakuum
- Ebenheit der Aufspannplatte
+/-13μm
- Durchschlagsspannung der Spannvorrichtung
Mindestens 500 V
- Isolierung des Futters
Mindestens 1GΩ
- Futter-Einstellung
360° grob, +/-6° fein
- Mikroskop
Hochwertiges Stereo-Zoom mit bis zu 200 mm Arbeitsabstand und einer Vergrößerung von 3,5X bis 180X
- Durchführungsklemmen
BNC, Triax oder Bananenstecker
- System-Abmessungen
101cm breit x91cm tief x 88cm hoch
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