Halbautomatische Messanlage SPS-2 series

Vakuum

Die Serien SPS-2600-VAC und SPS-2800-VAC sind MicroXacts Vakuumsondensysteme, die für die motorisierte oder halbautomatische Prüfung von bis zu 100 mm oder bis zu 200 mm großen Wafern in einer Vakuum- oder kontrollierten Gasatmosphäre entwickelt wurden. Diese Vakuumtestlösung ist systematisch und präzise, kosteneffizient, geräuscharm und benutzerfreundlich. Diese Vakuumsondensysteme basieren auf einer vibrationskompensierten, vielseitigen Plattform, die für eine breite Palette von Prüfanwendungen konfiguriert werden kann. Die Vakuumsondensysteme von MicroXact eignen sich ideal für vereisungsfreie Tests bis zu 77 K oder für Hochtemperaturtests von Geräten und Komponenten, die zur Oxidation neigen, und bieten eine kontrollierte Umgebung auf Wafer-Ebene. Merkmale der Vakuumsondenstation - Erhältlich mit Standard-Wiederholbarkeit/Auflösung (+/-7mm/1,5mm) und hoher Wiederholbarkeit/Auflösung (besser als 2mm/100nm) in X und Y. - Erhältlich mit manuellem oder motorisiertem Theta-Tisch. - Sondenarme mit externer manueller Mikromanipulator-Einstellung sind erhältlich. - Erhältlich mit Flüssigstickstoff-gekühlten Thermofuttern für Tests bei Temperaturen bis zu flüssigem Stickstoff. - Die Standardkonfiguration umfasst eine 7:1-Zoomröhre für eine bessere Auflösung als 4 μm. 12.5:1- und 16:1-Zoomobjektive sind ebenfalls erhältlich. Hochauflösende Verbundmikroskope können mit einer speziellen Deckelkonstruktion untergebracht werden. - Effiziente Schwingungsisolierung von Vakuumpumpenvibrationen. - XactTest™ Automatisierungssoftware mit zusätzlicher automatischer Druckkontrolle.