Hochtemperatur-Messanlage CPS-HT

Die Modelle CPS-HT sind MicroXacts Hochtemperatursondensysteme für die Prüfung und Charakterisierung von Bauteilen bei den höchsten auf dem Markt erhältlichen Temperaturen, entweder im Vakuum oder in einer kontrollierten Gasumgebung. Wir bieten manuelle Waferprober zum Testen von Proben bis zu 2" x 2" (50mm x 50mm) und motorisierte oder halbautomatische Systeme zum Testen von 100mm oder größeren Wafern. Diese Systeme sind in der Lage, die Proben bis zu 700oC im Vakuum oder 650oC bei atmosphärischem Druck zu testen. Merkmale - Sondenarme mit externer manueller Mikromanipulator-Einstellung. - Erhältlich mit luft- oder flüssigstickstoffgekühlten Thermochucks. - Die Standardkonfiguration umfasst eine 7:1-Zoomröhre für eine bessere Auflösung als 4 μm. 12.5:1- und 16:1-Zoomobjektive sind ebenfalls erhältlich. - Effiziente Schwingungsisolierung von den Vibrationen der Vakuumpumpe. - Schnelle Heiz- und Kühlzeiten.