Messanlage / spez. Widerstand A4P-series

Die Wafer Resistivity Mapper der A4P-Serie verwenden bewährte Industriestandards, um schnelle, genaue und zuverlässige Messungen der Widerstandsverteilung von Proben zu ermöglichen. Die Vierpunktsonden von MicroXact messen den durchschnittlichen Widerstand von Halbleiterwafern aus Schichten, indem sie Strom durch die äußeren Punkte einer Vierpunktsonde leiten und die Spannung an den inneren Punkten messen. Der Wert des spezifischen Widerstands, also der Eigenschaft des Materials, die ihm einen elektrischen Widerstand verleiht, kann dann durch Multiplikation des Schichtwiderstands mit der Dicke einer Schicht ermittelt werden. Die A4P-Vierpunktsonde, die als 100-, 150-, 200- oder 300-mm-System angeboten wird, ist wartungsfrei und sehr einfach zu bedienen. Für dieses System ist eine Vielzahl von Optionen erhältlich, darunter thermische Prüfungen mit großem Messbereich, kundenspezifische Spannvorrichtungen für nicht standardisierte Materialien und 4-Punkt-Sonden, die für nahezu jede Anwendung angepasst werden können. Automatisierungssoftware für Widerstandsmessungen Die Automatisierungssoftware A4P-200-PLUS ermöglicht halbautomatische oder vollautomatische Prüfungen mit dem Widerstandskartierungssystem. Die Schnittstelle ist einfach und dennoch leistungsfähig, so dass der Benutzer problemlos ein automatisiertes Prüfverfahren für nahezu jede Art von Waferstruktur einrichten kann. Die LabView-basierte Software ist logisch aufgebaut und ermöglicht eine einfache Integration der kundeneigenen Prüf- und Messgeräte. Die Software kann auf jedem PC mit dem Betriebssystem Windows XP oder höher installiert werden.