Halbautomatische Messanlage SPS series

Standard-Halbautomatische Systeme - Motorisiertes XY-Futter, motorisierte Aufspannplatte in der SPS-2600, motorisierte Z-Bewegung des Futters in der SPS 2800 in Standardkonfiguration. Motorisierte Theta-Bewegung ist eine Option. - Schrittmotorbasiert, keine Encoder. - Sehr kostengünstig - Sehr empfehlenswert für Anwendungen, bei denen Prüfungen unter 0°C oder eine Abschirmung erwünscht ist - Verfügbare Optionen: beheizte oder gekühlte Chucks, Zoom- oder Verbundmikroskope, verschiedene Abschirmungen, Auswahl der Chucks für DC- und RF-Messungen und vieles mehr Spezifikationen - Wafer-Größe Bis zu 200 mm - Motor-Typ Schrittmotor - XY Verfahrweg des Tisches Bis zu 200mmx200mm - Auflösung XY-Tisch motorisiert, 6,5μm Wiederholgenauigkeit - XY-Geschwindigkeit (max) 9.5 mm/s - Z-Geschwindigkeit (max.) 5 mm/s - Verfahrweg der Aufspannplatte 12.7mm oder mehr - Einstellung der Aufspannplatte Zweifache Grob- und Feineinstellung mit einer Wiederholgenauigkeit von mehr als 2,5µm - Planarität der Druckplatte <12,7μm über 200mm - Steifigkeit der Aufspannplatte <50μm für 4,5kg - Vakuum-Spannvorrichtung Multi-Zonen-Vakuum - Ebenheit der Aufspannplatte +/-13μm - Durchschlagsspannung der Spannvorrichtung Mindestens 500 V - Isolierung des Futters Mindestens 1GΩ - Futter-Einstellung 360° grob, +/-6° fein - Mikroskop Hochwertiges Stereo-Zoom mit bis zu 200 mm Arbeitsabstand und einer Vergrößerung von 3,5X bis 180X - Durchführungsklemmen BNC, Triax oder Bananenstecker - System-Abmessungen 122cm breit x122cm tief x 92cm hoch