Manuelle Messanlage SPS series

Die Systeme SPS-1000, SPS-2000 und SPS-2200 sind die ersten manuellen Messstationen von MicroXact, die flexibel und einfach zu bedienen sind. Das hohe Leistungsniveau und die Erschwinglichkeit dieser manuellen Tastsysteme machen sie zu einer Klasse für sich. Mit einer Wafergröße von bis zu 200 mm, DC- oder RF-Tastköpfen und einem optionalen thermischen Chuck sowie einer Vielzahl von Abschirmungsoptionen können unsere Prüfstationen für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden, wie z. B. Fehleranalyse, Zuverlässigkeitsprüfung, IV/CV-Prüfung, Schwachstromprüfung und Mikrowellen- und RF-Charakterisierung, um nur einige zu nennen. IV-, CV- und Schwachstromtests mit den manuellen Prüfstationen von MicroXact liefern die präzisen und genauen Messungen, die für die Charakterisierung von Halbleiterbauelementen erforderlich sind. Kapazitäts- und Schwachstromtests auf Wafer-Ebene waren dank der Vielfalt der verfügbaren Optionen und der Flexibilität der manuellen Prüfstationen von MicroXact noch nie so einfach. Merkmale - Der manuelle Probentisch ist mit einem zusätzlichen Vorspannschlitten zum einfachen Be- und Entladen von Wafern oder Proben erhältlich. - Manuelle Steuerung der Z-Position von Platte und Chuck mit Grob- und Feineinstellung. - Die glatte Stahlgussplatte kann bis zu 10 magnetische oder vakuumbasierte Positionierer aufnehmen. - Koaxiale und triaxiale Chucks sowie Gehäuse sind für Prüfungen mit geringem Leckstrom erhältlich. - Standardmäßige Auslegerhalterung für die XYZ-Positionierung des Mikroskops über den gesamten Bereich. - Verfügbare hochauflösende Mikropositionierer mit 80TPI-Schrauben für die Positionierung von Sonden im μm-Bereich - Erhältlich sind hochauflösende Mikropositionierer mit 80TPI-Schrauben für die Positionierung von Sonden im μm-Bereich.