SF6-Gassensor VKM2002985

NDIR-Mikroströmungzur Prozessmessungfür die Sicherheitsüberwachung von Industriegasen

Schwefelhexafluorid ist als Spuren- Schutz- oder Isoliergas bis heute in vielen Anwendungen unverzichtbar. Aufgrund des hohen Treibhauseffektes von SF6 ist der verantwortungsvolle Umgang mit dem Gas umso wichtiger. Der MicroFLOW SF6 .100 Vol.-% Sensor eignet sich für eine Vielzahl von anspruchsvollen Anwendungen, die Präzision und Zuverlässigkeit erfordern. ANWENDUNGSFELDER Industrie: SF6 wird in Plasmaätzprozessen eingesetzt, um präzise Muster auf Halbleitermaterialien wie Silizium, Siliziumdioxid und anderen Verbindungen zu erzeugen. Das Gas wird in speziellen Ätzkammern verwendet, in denen es durch Anwendung von Hochfrequenzenergie in ein Plasma umgewandelt wird. Dieses Plasma reagiert dann selektiv mit dem Material und ermöglicht das präzise Gravieren oder Entfernen von Materialien in einem sehr kontrollierten und genauen Verfahren. Bei der Herstellung von Aluminium setzt man Schwefelhexafluorid als Tracer-Gas ein um die Effizienz des Produktionsprozesses zu verbessern und potenzielle Probleme frühzeitig zu erkennen. Des Weiteren dient es in diesem Bereich der Überwachung der Qualität und Konsistenz des Endprodukts. Energietechnik: Im Bereich der Elektrizitätsversorgung wird SF6 als Isoliergas und Kühlmedium in Hochspannungsschaltanlagen und Transformatoren verwendet. Die Messung von Schwefelhexafluorid ist wichtig, um Leckagen frühzeitig zu identifizieren und den Zustand der Anlagen zu überwachen.