Weißlicht-Interferometer interferoMETER

für OEM-Anwendungenzur sub-nanometrischen Wegmessungzur sub-pikometrischen zur sub-nanometrischen Wegmessung

Industrieoptimiert und mit einer Genauigkeit, die ein neues Präzisionslevel in der optischen Abstands- und Dickenmessung schafft – so präsentieren sich die neuen Weißlicht-Interferometer von Micro-Epsilon. Im Portfolio befinden sich für unterschiedliche Anwendungsfälle drei verschiedene Varianten des Interferometer. Die Systeme erzielen stabile Messergebnisse mit einer Subnanometerauflösung. Mit einer Auflösung von < 30 Pikometer erreichen die Messwerte des innovativen interferoMETER von Micro-Epsilon ein neues Präzisionslevel in der optischen Messtechnik. Je nach Anwendung stehen drei verschiedene Ausführungen zur Verfügung: das IMS5400-DS für hochpräzise und industrielle Abstandsmessungen, das IMS5400-TH für genaue Dickenmessungen und das IMS5600-DS mit vakuumtauglicher Ausführung für Abstandsmessungen in Sub-Nanometer-Genauigkeit. Das hochgenaue IMS5400-TH wird zur Dickenmessung von dünnen transparenten Materialien eingesetzt. Die Messung erfolgt mit nur einem Sensor unabhängig vom Abstand zum Messobjekt, wodurch Flattern oder Positionierunregelmäßigkeiten ignoriert werden können. Dank der nah-infraroten Lichtquelle können auch Dickenmessungen von anti-reflexbeschichtetem Glas durchgeführt werden. Das IMS5400-DS wird zur industriellen Abstandsmessung eingesetzt. Das Messsystem liefert absolute Messwerte und kann beispielsweise Stufen und Kanten zuverlässig und ohne Signalverlust erfassen. Und das IMS5600-DS ist für Abstandsmessungen im Reinraum und im Vakuum (bis UHV) konzipiert. Ein Sonderabgleich des Controllers ermöglicht eine Sub-Nanometer-Auflösung, die beispielsweise bei der Wafer-Ausrichtung oder bei der Stagepositionierung erforderlich ist.