Vertikaler Positioniertisch GTS series

mit LinearmotoreinachsigKreuzrollen

Die Tische der GTS-V-Serie bieten im Vergleich zu anderen vertikalen Plattformtischen den größten Verfahrbereich, die höchste Geschwindigkeit sowie die beste Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Das niedrige Profil und die hochpräzisen Bewegungsmöglichkeiten machen diesen Tisch zu einer ausgezeichneten Wahl für Anwendungen wie Halbleiter-Wafer-Inspektion, Nanotechnologie, automatische Geräteausrichtung, Messtechnik und Qualitätskontrollprozesse. -30 oder 70 mm Präzisionsvertikalbewegung in einer kompakten Einheit -Ungehinderter Zugriff auf die Nutzlast aus jeder Richtung -Welligkeitsfreie Bewegung und hervorragende Bahngenauigkeit durch vertikale Anti-Kriech-Kreuzrollenlager -Hohe Empfindlichkeit, exzellente Wiederholgenauigkeit und hochpräzise Bewegung durch einen integrierten Linearkodierer Direkte vertikale Führung Die hochpräzise vertikale Bewegung wird durch ein direktes vertikales Führungssystem erreicht, das aus aufeinander abgestimmten Paaren von Anti-Kriech-Kreuzrollenlagern für die GTS30V und Kugelumlauflagern für die GTS70V besteht. Diese Linearführungen wurden ausgewählt, um die geradlinigste Bahn, eine gleichmäßige und präzise Bewegung und einen robusten, langfristigen Betrieb zu gewährleisten. Darüber hinaus bieten die Kreuzrollenlager in der GTS30V den zusätzlichen Vorteil einer ruhigeren, rippelfreien Bewegung, was bei Anwendungen auf der Metrologieebene wichtig ist. Hocheffizienter Antriebsstrang Ein gefalteter Gleichstrommotor mit einer präzisionsgeschliffenen, reibungsarmen Leitspindel sorgt für eine extrem gleichmäßige Bewegung auch bei hohen Lasten. Ein Untersetzungsriemen zwischen Motor und Leitspindel erhöht das verfügbare Ausgangsdrehmoment und reduziert die Servoempfindlichkeit, was eine MIM von 100 nm gewährleistet.