Linearer Nanopositioniertisch NPX series

piezoelektrisch3-Achskompakt

Die NPX Piezo Stack Lineartische bieten lange Verfahrwege und Sub-Nanometer-Auflösung in einer, zwei oder drei Achsen in einem kompakten Gehäuse. Sie zeichnen sich durch eine schnelle Reaktion und ein schnelles Einschwingverhalten aus, sodass sie in dynamischen Prozessen wie Hochfrequenz-Fehlerkompensation, Tracking, schnellem Stepping oder kontinuierlichem Scanning eingesetzt werden können. -Auflösung der piezoelektrischen Positionierung im Subnanometerbereich -Bewegung in X, XY oder XYZ -Piezoelektrischer Verfahrbereich von bis zu 400 µm -Optionaler integrierter Dehnungsmessstreifen für den Betrieb im geschlossenen Regelkreis -Hohe Resonanzfrequenz für hochdynamische Anwendungen -Vakuum-Versionen Merkmale Sub-Nanometer-Positionierauflösung Mit einer Positionierauflösung von nur 0,2 nm ermöglicht der NPX Piezo-Stack-Lineartisch ultrafeine Einstellungen, deren Auflösung nur durch das Rauschen der Steuerelektronik begrenzt wird. Großer piezoelektrischer Verfahrbereich Die NPX Piezo Stack Lineartische verfügen über hochzuverlässige, mehrlagige, piezoelektrische Niederspannungs-Transducer-Stacks für hochbelastete Anwendungen. Ein ausgeklügeltes, FEA-optimiertes Parallelogramm-Flexionsführungssystem gewährleistet eine perfekte Parallelbewegung und einen Verfahrbereich von bis zu 400 µm. Aufgrund des reibungsfreien Führungsprinzips sind die NPX Piezo Stack Lineartische wartungs- und verschleißfrei. Außerdem wird die Empfindlichkeit der Ausgangsbewegung nicht durch mechanische Reibung beeinträchtigt.