MEMS-Strömungssensor MSL01

SiliziumMassenVolumen

Der empfindliche Kerndurchflusssensor basiert auf dem Prinzip der Wärmeübertragung. Die Sensorstruktur besteht aus einer Mikro-Wärmequelle, die sich auf dem empfindlichen Film befindet, einem stromaufwärts gelegenen Temperatursensor und einem stromabwärts gelegenen Temperatursensor, die symmetrisch zur Mikro-Wärmequelle angeordnet sind, sowie einem Umgebungstemperatursensor, der sich auf der Siliziumbasis befindet. Wenn keine Flüssigkeitsströmung auf der Sensoroberfläche vorhanden ist, ist das Temperaturfeld um die Mikrowärmequelle symmetrisch verteilt, wie in (a); wenn eine Flüssigkeitsströmung auf der Sensoroberfläche vorhanden ist, ist das Temperaturfeld um die Mikrowärmequelle aufgrund des Kühleffekts der Flüssigkeit auf der Mikrowärmequelle gestört, und das Feld stromaufwärts und stromabwärts der Mikrowärmequelle ist asymmetrisch verteilt, wie in Abb. (b); je größer die Strömungsgeschwindigkeit des Fluids ist, desto größer ist die Strömungsgeschwindigkeit des von der Mikrowärmequelle weggetragenen Gases, und die Asymmetrie ist größer. Die Strömungsgeschwindigkeit des Fluids ergibt sich aus der Temperaturdifferenz zwischen dem stromaufwärts und dem stromabwärts gelegenen Temperatursensor. - Breites Messbereichverhältnis>300:1 - Schnelle Ansprechzeit<5ms - Ultra-niedrige Anlaufströmung <0,05m/s - Hohe Empfindlichkeit und Genauigkeit Höhere als +/-3% Ablesegenauigkeit - Nicht bewegliche Teile, hohe Zuverlässigkeit - Geeignet für saubere Gase und Flüssigkeiten - Medizinische Beatmungsgeräte, Diagnosegeräte - Steuerung von Brennstoffzellen - Luftdurchflussmesser für Kraftfahrzeuge - Haushaltsgasgeräte - Gas- und Flüssigkeitschromatographie-Massenspektrometrie-Analysator - HVAC - Leckdetektor - Industrielle Automatisierung