Die Tiefenfilter der CMPro-M-Serie von Membrane Solutions sind speziell für die Filtration von Schlämmen für SDS (Slurry Delivery System) konzipiert. Hergestellt aus Polypropylen-Medien mit Verbundstruktur und einem einzigartigen Design mit abgestufter Dichte, das es ermöglicht, die Herausforderungen der CMP-Filtration zu meistern. Durch die sich verjüngenden Poren erreicht CMPro-M ein hervorragendes Gleichgewicht zwischen hervorragender Rückhalteeffizienz von Agglomeraten und hoher Schadstoffkapazität. Es kann nur störende Partikel effektiv aus der CMP-Suspension entfernen und die Partikelgrößenverteilung (PSD) der gültigen Suspensionspartikel ändert sich nach der Filtration nicht. CMPro-M eignet sich für verschiedene CMP-Anwendungen in unterschiedlichen Situationen, einschließlich Oxid CMP, STI CMP und Metall CMP.
Merkmale
Die abgestufte Filterstruktur gewährleistet eine hohe Filtrationseffizienz.
Steile Effizienzkurven können die Filtrationsrate von übergroßen Partikeln erheblich verbessern, während die Filtration von gültigen Partikeln minimiert wird.
Optimierte Lebensdauer und geringere Kosten.
Geringe extrahierbare Stoffe, da frei von Tensiden und Bindemitteln.
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