Beschichtungsmaschine mit Breitschlitzdüse alphaSC

zur Herstellung von Dünnfilm

• Es sind mehrere Optionen verfügbar, um das System an die Bedürfnisse des Anwenders anzupassen: • Schlitzdüsen Abstandspositionssensor • HD-Videokamera zur Überwachung der Beschichtung • Trocknungsoptionen (IR, UV, Heißluft, Stickstoff-Airknife) • Große Substrataufnahme mit Vakuumansaugung (≥ A4 size) • Schlitzdüsen sind standardmäßig aus Edelstahl gefertigt. Andere Materialien und Legierungen verfügbar (Glas, Wolfram, Titan) • Schlitzdüsen können optional mit dem korrosionsbeständigen Material Tantaline beschichtet werden • Heizfunktion für Schlitzdüsen im Bereich von Raumtemperatur bis 80 Grad Celsius • Temperaturgesteuerte Spritzenpumpe • Zusätzliche Druckschritte Inkjet, Mikrotiefdruck, Blade/Bar/Comma Coater Anlagenkonzept Die umfassende und intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht experimentelle Freiheit bei der Erstellung von Beschichtungsrezepten. Die Integration der primären Beschichtungselemente ermöglicht eine hohe Reproduzierbarkeit zwischen den einzelnen Beschichtungsläufen, eine hohe Vergleichbarkeit der hergestellten Bauteile, sowie eine optimale Qualität der Produktionscharge. Das ist auf eine massiven und schwingungsgedämpften Plattform aufgebaut und wurde derart konstruiert, dass eine präzise Montage und eine einfache Positionierung der Schlitzdüse(n) über der Substrathalterung möglich ist. Die Substrataufnahme läuft auf einem Präzisionsschienensystem und in Kombination mit einem ausgefeilten Steuerungskonzept bietet dieses System ein vielseitiges und robustes Werkzeug für die Hochskalierung.