Mini-PVD-Kammer 100% speziell für Perowskite
• Kann in bestehende MBRAUN Gloveboxen integriert werden (durch Vorkammer)
• Kompakte Bauweise
• Für Untergründe bis 50x50 mm
• Bis zu 4 Quellen
• Schichtgleichmäßigkeit< +/-5 %
• Wirtschaftliche Lösung
• Kurze Lieferzeit
• Einfaches Nachrüsten in bestehende Gloveboxen