• Eigenständiges System
• Kompakte und kostengünstige Lösung
• Einfaches Konfigurationsdesign
• Co-Deposition ist möglich
• Gleichmäßigkeit bis zu +/-3 % (bei spezifischem Geometriedesign bis zu +/1 %)
• Zwei Standardgrößen: UNIvap 4S und UNIvap 5S
• Bis zu 8 Depositionsquellen möglich
• Substratgröße bis 100x100 mm oder Durchmesser 100 mm (4") für UNIvap 4S
• Substratgröße bis 150x150 mm oder Durchmesser 150 mm (6") für UNIvap 5S
• OLEDs / Organische Elektronik
• Organische Photovoltaik-Zellen