AC/DC-Netzteil HECD seriesSchaltnetzteildigitalBenchtop
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Eigenschaften
- Typ
- AC/DC
- Technologie
- Schaltnetzteil
- Weitere Eigenschaften
- digital, Benchtop
- Eingangsspannung
Min: 100 V
Max: 240 V
- Ausgangsspannung
Min: -5 kV
Max: 5 kV
- Stromstärke
1 mA, 2 mA, 3 mA, 10 mA
Beschreibung
serie ist eine Hochspannungs-Verstärker-Stromversorgung für elektrostatische Spannvorrichtungen. Zusätzlich zur Polaritätsumschaltung und Zwangserdung bietet die Serie ein Wafer-Überwachungssystem, um die Anforderungen der Wafer-Erkennung zu erfüllen.
Darüber hinaus kann diese Serie mit ihrem breiten Spannungsbereich sowohl coulombische als auch Johnsen-Rahbek-Elektrostatikfutter unterstützen.
Merkmale und Vorteile
Zuverlässige Erkennung des Spann-/Freigabezustands durch Wafersensor
Schnelles Ansprechverhalten durch Verstärkerarchitektur (hohe Zuverlässigkeit und lange Lebensdauer durch "Non-Relay-Polaritätsumkehr"-Design)
"Unabhängige Zwei-Kanal-Steuerung (Option)" und "Einstellung der Mittelabgriffsspannung (Option)" für verschiedene Spann-/Freigabevorgänge
Ausgestattet mit digitaler Schnittstelle für LAN, USB, RS-232C
Eingebauter RF-Tiefpassfilter (13,56 MHz)
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Kataloge
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.