Der Wafer XRD 200 ist ein ultraschnelles, hochpräzises automatisiertes System für die Wafer-Sortierung basierend auf Kristallausrichtung und Wafer-Geometrieparametern mit einer Vielzahl zusätzlicher Optionen.
Übersicht
Das Wafer XRD 200 ist Ihre vollautomatische ultraschnelle Röntgendiffraktionsplattform für die Wafer-Produktion und -Forschung, wie Sie sie noch nie zuvor gesehen haben.
Das Wafer XRD 200 liefert in nur wenigen Sekunden wichtige Daten zu einer Vielzahl entscheidender Parameter wie Kristallausrichtung und Widerstand, geometrische Merkmale wie Flats und Notches, Abstandsmessungen und vieles mehr. Das System fügt sich nahtlos in Ihre Prozesslinie ein.
Leistungsmerkmale und Vorteile
Ultraschnelle Präzision mit proprietärer Scan-Technologie
Die Methode erfordert nur eine Wafer-Drehung, um alle notwendigen Daten zur vollständigen Bestimmung der Ausrichtung zu erfassen. Dadurch wird eine hohe Präzision bei sehr kurzer Messzeit (in nur wenigen Sekunden) erreicht.
Vollautomatische Handhabung und Sortierung
Wafer XRD 200 wurde entwickelt, um Ihren Durchsatz und Ihre Produktivität zu optimieren. Die vollständige Automatisierung der Handhabung und Sortierung sowie detaillierte Datenübertragungstools machen das System zu einem leistungsstarken und effizienten Element in Ihrem QK-Prozess.
Einfache Verbindung
Die leistungsstarke Automatisierung des Wafer XRD 200 ist sowohl mit MES- als auch mit SECS/GEM-Schnittstellen kompatibel. Das System lässt sich problemlos in Ihren neuen oder bestehenden Prozess integrieren.