Inkrementaler Lineargeber BL57

optischkontaktlosoffen

Berührungsloses offenes Laserscale Längenmesssystem mit 400 nm Signalperiode. Ideal geeignet für X/Y Verfahreinheiten in Halbleiter-, Messanwendungen und Ultrapäzisionsbearbeitung. Verfügbar in Messlängen von bis zu 1360 mm und Ansprechgeschwindigkeiten von bis zu 3 m/s Aufgrund der Signalperiode von 400 nm beträgt der Interpolationsfehler weniger als +/-4　nm Eingebauter Referenzpunkt / Bezugspunkt Anwendungen : X/Y Verfahreinheiten und Messanwendungen Die kompakte Bauform ohne Referenzmarke zur einfachen Integration. Unempfindlich gegenüber Temperaturänderungen, Luftfeuchtigkeit, Luftdruck und Luftzirkulationen. Aufgrund der Signalperiode von 400 nm beträgt der Interpolationsfehler weniger als +/-4nm Anwendungen : X/Y Verfahreinheiten und Messanwendungen