Hochgenaues Längenmesssystem mit reflektierendem Laserscalefunktionsprinzip mit einer Signalperiode von 250 nm. Ideal für Low-Profile-Tische, Halbleiter-Back-End-Bearbeitungsgeräte und Präzisionsmikroskope
Signalperiode: 250 nm
Hohe Genauigkeit : ±1 µm/420 nm
Hohe Ansprechgeschwindigkeit: 1.800 mm/s
Maximale Auflösung : 3,8 pm
Mit oder ohne Referenzpunkt / Bezugspunkt erhältlich
Kontaktloses Messsystem ohne Hysterese
Maßstab: ZERO-Glas, Alkalifreies Glas
Unterstützt verschiedene Auflösungen und Ausgabemodi (Abhängig von einem Interpolator wie z.B. BD96 oder BD700)
Nicht-magnetische und Vakuum-kompatible SonderModellle erhältlich