Höchste Auflösung, Genauigkeit und Stabilität. Perfekt geeignet für hochgenaue Messanwendungen in der dimensionalen Messtechnik, in Kreuztischen und in Ultrapräzionsbearbeitungsmaschinen
Hochauflösendes Längenmesssystem das nach dem Funktionsprinzip des Beugungsgitterlaserinterferometers arbeitet und eine Signalperiode von 138nm erzeugt.
Hohe Stabilität, nicht beeinträchtigt durch Luftfeuchtigkeit, Luftdruck oder Luftturbulenzen.
Genauigkeit des Messsystems: ±0,04 µm oder besser (Messlänge: 40 mm)
Aufgrund der kleinen Signalperiode und des berührungslosen Messprinzips ist der Hysteresefehler eliminiert.
Messlänge: 9-typ (-R/RS)
Messlänge: 10-typ (-N/NS)
Spezielle nicht-magnetische und Vakuum-kompatible Modelle erhältlich
Nutzung von Glas mit geringer Wärmeausdehnung: -0,7 x 10-6 /°C (Messlänge: 10 bis 420 mm)
Auflösungen bis 2,1 pm