Akribis-Air ist ein intelligentes, eigenständiges Probenvorbereitungssystem, das ultimative Verarbeitungsinnovationen bietet und eine hochautomatisierte, eigenständige Maschine ist. Mit der dynamischen Laststeuerung der intelligenten Luftvorrichtungen von Logitech bietet das System schnelle, zuverlässige und hochpräzise Ergebnisse für eine breite Palette von Anwendungen.
Der von Akribis-Air gebotene Automatisierungsgrad reduziert die Benutzereingaben, die Variabilität, die Einrichtungs- und Reinigungsvorgänge erheblich. Die Integration eines fortschrittlichen Softwaresystems bietet eine benutzerfreundliche und hochgradig kontrollierte Plattform für fortschrittliche Verarbeitung. Die von Logitech entwickelten intelligenten, frei rotierenden Luftvorrichtungen nutzen den Luftdruck, um während des gesamten Prozesses eine maximale Probenbelastung zu ermöglichen - und erfüllen damit die Anforderungen der anspruchsvollsten Anwendungen.
Akribis-air ist chemisch resistent gegen die bei CMP-Anwendungen verwendeten Standardchemikalien, einschließlich Natriumhypochlorit (Na OCL).
Typische Anwendungen für dieses System sind:
- Silizium - Integrierte Schaltkreise, Solar- und Wellenleiter
- III-V & II-VI Ausdünnen und Polieren
- Saphir - LEDs
- Siliziumkarbid - Optik, LEDs und Leistungselektronik
- Galliumnitrid - Optische Geräte, Laser, RFs
- Optisches Polieren - Infrarot-, Faseroptik- und Laserstäbe
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Wichtigste Merkmale
Eigenständiges Einzelplatzsystem mit der Möglichkeit, entweder 100mm/4″ oder 150mm/6″ Proben zu bearbeiten - ein angetriebener Vorrichtungsrollenarm erhöht die Genauigkeit und Wiederholbarkeit erheblich.
400mm Platte mit Rotationsgeschwindigkeiten zwischen 5-100rpm - ermöglicht schnellere Läpp- und Polierraten.
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