Kammerofen IT-GRV-330/350/2300

rohrförmigSublimationKristallwachstum

Für Physical Vapour Transport (PVT) Wachstum von SiC-Einkristallen nach der modifizierten Lely Methode Andere Anwendungen können sein: Synthese von hochreinem SiC Rohstoff PRODUKTSPEZIFIKATIONEN Die wichtigsten Merkmale Induktionsofen, Top Loader Design 4” SiC-Einkristallzucht MF Heizleistung 30 kW Arbeitsfrequenz 8-10 kHz Prozessgase Stickstoff, Argon, Wasserstoff, Partialdruckbetrieb 5 – 950 mbar Vakuum/gasdichte Kammer durch wassergekühlten Glasrohraufbau Vakuumpumpsystem für Vakuum 2 x 10-5 mbar mit Turbomolekularpumpe (685 l/s) Hochreine Graphitfilzisolierung (halogengereinigt) Wir machen es möglich Linn High Therm ist Spezialist bei der Anpassung seiner Produkte an Kundenbedürfnisse. Teilen Sie uns gerne mit, falls sie Modifikationen außerhalb des Standardangebots benötigen. Wir werden alles daran setzen, Ihre Wünsche zu erfüllen. Mögliche standardisierte Optionen Tiegelrotation und translation Tiegelbodenpyrometer Notwasserkühlung Prozessleitsoftware Bodenladerdesign Umlaufkühler Kristallzuchttraining durch namhaftes deutsches Forschungsinstitut