Glühen, Aushärten, Trocknen, Oberflächenbeschichtung
Wärmebehandlung von Wafern in Schutzgasatmosphäre
Andere mögliche Anwendungen sind:
Trocknung und Wärmebehandlung von Pulver, Granulaten, Metallen …
PRODUKTSPEZIFIKATIONEN
Die wichtigsten Merkmale:
2 Zonen elektrisch beheizt
Reinraumklasse 100
Restsauerstoffmessung
Schnellkühlung
Edelstahl (1.4301) Kammer, elektropoliert
Begasungseinrichtung (Ar, N2)
Beheizt durch Rohrheizkörper
Heizleistung ca.... 5 kW
Temperaturgenauigkeit +/-3k
Gasumwälzung
Wir machen es möglich
Linn High Therm ist Spezialist bei der Anpassung seiner Produkte an Kundenbedürfnisse. Teilen Sie uns gerne mit, falls sie Modifikationen außerhalb des Standardangebots benötigen. Wir werden alles daran setzen, Ihre Wünsche zu erfüllen.
Mögliche standardisierte Optionen
Unterschiedliche Reglersysteme
Notwasserkühlung
Prozessleitsoftware
Umlaufkühler
Abfackeleinrichtung mit Flammenüberwachung
Sicherheitspaket