Messsystem zur Orientierung YX-6D/6DA

Röntgenfür Wafer

Dieses Gerät wird speziell für die Orientierungsmessung von Silizium-Einkristallstäben verwendet, es kann passend zu YX-5Z/6Z und Mehrlinienschneidegeräten verwendet werden. Seine größte Eigenschaft ist, dass es direkt den l-Ablenkwinkel, den X- und Y-Wert des Kristallstabes nach der Orientierungsmessung berechnen und den Winkelwert des Teilwafers genau messen kann. Struktur: Das Silizium-Einkristallorientierungsinstrument YX-6D besteht aus einer Röntgensteuerung, einer Winkelvorrichtung, einem Recorder, einem elektromagnetischen optischen Verschluss, einer Mikrosteuerung, einer Tastatur, Eingabeinformationen, einer Bildschirm-Menüanzeige, einem Datendruck, einer Winkelanzeige, einem Spitzenwertstärkemesser und so weiter. Die Zählsoftware verwendet eine international gebräuchliche Berechnungsmethode, mit Gradeinheit, zeigt eine minimale Genauigkeit von 0,001 Grad an, die Messdefinition ist ±0,008degree（±30〃）, dieses Produkt kann einen Durchmesser von 3-12 Zoll, eine Länge von 500 mm 111.100 Kristalloberfläche und so weiter messen.