Lampen-Beleuchtung

UVkompaktfür Mikroskopie

Hg-Xe Mischgas Gasentladungsbeleuchtung bestehend aus Lampenhaus mit integrierter Zündung und Vorschaltgerät. Mit dem LEJ Deep-UV-Beleuchtungssystem erhalten Sie eine extrem stabile UV-Strahlung aufgrund des geringen thermischen Drifts und der sehr stabilen DC-Stromversorgung durch unser Vorschaltgerät. - Weiterhin ermöglicht unser System eine reproduzierbare mechanische Justage von Lampe, Spiegel und Kollektor. Somit eignet sich das LEJ Deep-UV-System zur Waferinspektion oder für die Beleuchtung beim optischen Review und der Analyse von Photomasken, speziell der Strukturen und Linienbreiten auf Fehler und Defekte. Produkt-Highlights kein thermischer Drift reproduzierbare mechanische Justage Integrierte Hochspannungszündung kompaktes robustes Lampenhaus Sicherheitskreisfunktion Betriebsstundenzähler Anwendungsbereiche Analyse von Photomasken Desinfektion UV-Härtung