Das Leica XL-Stativ ist Teil einer modularen Lösung für die Inspektion von großen Proben bei hoher Vergrößerung: Leiterplatten, forensische Untersuchungen an Werkzeugspuren oder die Prüfung und Dokumentation von TFT- und LCD-Displays sind nur einige Beispiele.
Der optionale XY-Tisch ist mit einer ESD-Matte ausgestattet, die empfindliche elektronische Bauteile vor Schäden durch elektrostatische Entladungen schützt. Der XY-Tisch kann mit Proben bis 400×450 mm verwendet werden, der Verfahrweg beträgt 300×300 mm. Damit lässt sich z.B. eine A4-große Fläche untersuchen, ohne dass die Probe neu ausgerichtet werden muss.