Temperaturregler ohne Anzeige SEMISTAT

thermoelektrischProzess

Thermoelektrische Prozessthermostate für die Halbleiterindustrie von -20 bis 90 °C Das thermoelektrische Semistat Temperiersystem bietet reproduzierbare Temperaturregelung für Plasmaätzanwendungen. Dieses System sorgt für eine dynamische Temperaturregelung des elektrostatischen Wafer-Chucks (ESC) und kann in Verbindung mit allen Arten von Ätzprozessen eingesetzt werden. Die thermoelektrischen Temperaturregelungssysteme LAUDA Semistat basieren auf den bewährten und bekannten Prinzipien der Wärmeübertragung von Peltier-Elementen. Die Verwendung dieser Elemente ermöglicht eine schnelle und präzise Temperaturregelung, die für die anspruchsvollen Prozesse rund um die Herstellung immer kleiner werdender Bauteile erforderlich ist. Durch den Einsatz von Semistat Temperiersystemen ist eine Verringerung des Energieverbrauchs um bis zu 90 % gegenüber kompressorbasierten Systmen möglich. Ein sehr geringer Platzbedarf mit der Möglichkeit der Unterflurinstallation am Point-of-Use führt zur Minimierung des Verbrauchs von Reinraum. Durch schnelle und präzise Temperaturregelung der Prozesstemperaturprofile auf ±0,1 K wird eine verbesserter Wafer-to-Wafer-Homogenität erreicht. Arbeitstemperaturbereich Min.-20 °C Arbeitstemperaturbereich Max.90 °C Temperarturkonstanz0,1 ±K