• 2530mm x 12550mm
• Automatischer Wechsel des doppelten Tisches
• Achsen Bewegung : 4 Achsen digitales Motor System
• Positioniersystem : Servomotor / Zahnstange und Ritzel
• Positioniergenauigkeit : 0.05 mm / +- 0.002"
• Z-Achse Abstandsregelungssystem : Berührungslos, Ausführung mit Z-Achsen-Verfolgung
• Shuttle-Tisch Wechselzeit : 115 sek
• Steuerung : 19" TFF Touch Screen, Ethernet fähig
• Assistenz Gas Handling Control : Sauerstoff (O2) : 15 Bar
• Stickstoff (N2) : 25 Bar
• Luft : 25 Bar