Laserstrahl-Analysegerät MSM

Der PRIMES MicroSpotMonitor (MSM) ist das ideale Werkzeug zur Überprüfung, Überwachung und Freigabe von sehr fein fokussierten Laserstrahlen, wie sie z.B. in der Mikromaterialbearbeitung eingesetzt werden. Der MSM misst und analysiert automatisch die räumliche Strahlverteilung rund um den Fokus in verschiedenen z-Positionen. Der fokussierte Laserstrahl ist eine wesentliche Determinante für die Qualität des Fertigungsergebnisses. Bei den meisten Lasermaterialbearbeitungen stellt er das eigentliche Werkzeug dar. Die Aufgabe des MSM ist es, dieses Werkzeug für Lasersysteme, die in der Mikromaterialbearbeitung eingesetzt werden, zu zertifizieren und zu überwachen. Durch regelmäßige Messungen können unter anderem Veränderungen des Strahlprofils, der Fokuslage oder der Strahlabmessungen erkannt und protokolliert werden. Die Ergebnisse helfen nicht nur bei der Fehleranalyse, sondern auch bei der Optimierung eines Prozesses in der Mikrobearbeitung. Die vielfältigen Einsatzmöglichkeiten des MSM bieten dem Anwender eine Vielzahl von Problemlösungsansätzen für seine Anwendungen. Der MicroSpotMonitor ermittelt Strahlparameter von fokussierten Laserstrahlen von Lasern mit mittleren Leistungen bis 200 W im Bereich von 20 Mikrometern bis zu einem Millimeter direkt in der Prozesszone. Das rein luftgekühlte System bildet den über verschiedene Strahlteiler und Neutraldichte-Glasfilter abgeschwächten Laserstrahl auf einen CCD-Sensor ab. Aus der so ermittelten Strahlverteilung einer Ebene werden Strahllage und Strahlradius abgeleitet. Mit Hilfe der integrierten z-Achse und Messungen an verschiedenen Positionen des Laserstrahls werden die beschriebenen Strahlparameter ermittelt und aufgezeichnet.