Strahlteiler
Teilreflektierende Beschichtungen
Auskoppelspiegel und Strahlteiler mit High-Power Coatings und cw-/fs-Beschichtung. Beliebige Einfallswinkel realisierbar.
Beschichtete Laseroptik
Beschreibung
Teilreflektierende Beschichtungen werden für Substrate verwendet, die als Auskoppelspiegel oder Strahlteiler in Lasersystemen genutzt werden.
Dielektrische Beschichtungen im High-Power Bereich werden standardmäßig für den Wellenlängenbereich von 193 nm bis 3 µm beschichtet. Bei den cw-/fs-Coatings liegt der Wellenlängenbereich bei 450 nm bis 2 µm.
Auskoppelspiegel
Auskoppelspiegel finden ihre Hauptanwendung im Resonator und dienen zur Auskopplung des Laserstrahls. Durch geeignete Wahl des Reflexionsgrades wird die Güte des Laserresonators optimiert. Auskoppelspiegel werden häufig auch zur Abschwächung verwendet. Die Rückseite von Auskoppelspiegeln wird üblicherweise mit einer AR-Beschichtung versehen, um die Verluste des transmittierten Strahls zu minimieren.
Auskoppelspiegel für Excimer-Laser
Für Spiegel, die außerhalb des Resonators von Excimer-Lasern eingesetzt werden, wird die Standardbeschichtung meist auf Quarzsubstraten aufgebracht. Werden Spiegel im Resonator verwendet, so müssen die Beschichtungen fluor- oder chlorfest sein, da sie dem aggressiven Lasergas ausgesetzt sind. In diesem Fall ist bei der Materialwahl des Substrates darauf zu achten, CaF2 oder MgF2 zu verwenden.