Wafer-Belackungsanlage VTC-200P

Vtc-200p Vakuum-Rotationsbeschichtungsmaschine eignet sich für die Oberflächenbeschichtung von Halbleitern, Kristallen, optischen Platten, Plattenherstellung, etc. Diese Maschine kann für die Beschichtung Vorbereitung der starken Säure und starke alkalische Beschichtung Lösung verwendet werden. Der Hohlraum der vtc-200p Vakuum-Rotationsbeschichtungsmaschine kann nicht vakuumiert werden. Wenn es funktioniert, wird die Probe auf der Probenschale durch die Art und Weise der Vakuumschale Adsorption fixiert. Das Gerät kann 12 Programmgruppen speichern, jede Programmgruppe umfasst 6 Arbeitsschritte. In den verschiedenen Betriebsstufen ist die Anzahl der Umdrehungen des Geräts unterschiedlich, so dass die Geschwindigkeit des Geräts langsam bis zur Grenzgeschwindigkeit erhöht wird, was der gleichmäßigen Filmbildung des Filmmaterials auf der Probenoberfläche förderlich ist, ohne übermäßigen Abfall und Materialeinsparung. Die obere Abdeckung der Kammer kann die Probe erwärmen (optionale Funktion), was für den Beschichtungsprozess des Filmmaterials mit hoher Viskosität förderlich ist. Vtc-200p Vakuum-Rotationsbeschichtungsmaschine hat die Vorteile der einfachen Bedienung, bequeme Reinigung, kompakte Größe, etc., die vor allem im Labor von Hochschulen und Universitäten, wissenschaftliche Forschungsinstitute verwendet wird, um Filme zu erzeugen. Hauptmerkmale: 1. Es gibt 12 Gruppen von Programmen, jede Gruppe umfasst 6 Betriebsstufen, der Einstellbereich der Zunahme und Abnahme Rate von jedem Abschnitt ist 100-2000rpm / s, und der Zeitbereich von jedem Abschnitt ist 0-60s. 2. Die Probe wird durch Vakuum-Adsorption fixiert, die einfach zu bedienen ist. 3. Der Vakuumgrad des Saugers kann -0,08mpa erreichen. 4. Mit dem Positionierungswerkzeug kann die Probe leicht in der mittleren Position platziert werden, um die durch Exzentrizität verursachte Vibration oder Fliege zu reduzieren.