Gewöhnlich verwendet für aufwärts gerichtete Druckregelunganwendungen in Verbindung mit Mengenflußsteuerpulten.
Diese Ventile verwenden Mikrometer-einstellen dritte Position, von der das Ventil zu irgendeinem Grad der geöffneten Position entfernt betätigt werden kann. Der Körper und alle internen hauptsächlichbestandteile sind der Vakuumofen, der an 1100°C, bei 10-6 Torr bronziert wird und stellen maximale gemeinsame Vollständigkeit sicher. Dieses beseitigt die Möglichkeit „der virtuellen Lecks“ oder der Verleitungbereiche, während herabsetzenkörperverzerrung in herkömmlich geschweißten Ventilen fand. Zu den Wartungszwecken kann der Wagen vom Körper entfernt werden, ohne das Ventil vom System zu entfernen.
Eigenschaften
Electropolished Edelstahl
Eine der kleinsten Innenflächen in der Vakuumventilindustrie
Positiv geschlossenes Wegventil behält seine geschlossene Position im Falle eines Leistungsabfalls bei, der von einem Druckabfall gefolgt wird
Einzigartiger Luftzylinderentwurf ohne mechanische Verschlüsse innerhalb des Vakuums beschränkt Schlag und Erschütterung auf ein Minimum
Ideal für Halbleiter und andere empfindliche Prozesse
---