Glockenofen 200

GlühOxidationDiffusion

Von kleinen Experimenten und Forschungen (F&E) bis hin zur Massenproduktion können die Öfen so gestaltet werden, dass sie den Bedürfnissen der Nutzer entsprechen. Die Horizontalöfen können für die Herstellung von Solarbatterien und Photovoltaikanlagen (PV) sowie von Siliziumwafern verwendet werden. Von der experimentellen Nutzung bis zur Massenproduktion sind verschiedene Anlagenkonfigurationen verfügbar Batch: 25 bis 150 Wafer können verarbeitet werden konfiguration mit 1 bis 4 Stapelöfen zur Ausnutzung des begrenzten verfügbaren Platzes 2 bis 8 Zoll und 300mm Wafergröße sind verfügbar LGO-Heizung für niedrige und mittelhohe Temperaturen, HGC-Heizung für hohe Temperaturen sind für eine ausgezeichnete Temperaturleistung vorgesehen Vorschlag der Gerätekonfiguration entsprechend den Bedürfnissen des Kunden, basierend auf Nutzung, Platz und Budget Einfaches und gut ausgestattetes Steuerungssystem Diese Horizontalöfen können so konzipiert werden, dass sie den Anforderungen der Benutzer gerecht werden, von Experimenten und Forschung (F&E) für 3-, 4-, 6- und 8-Zoll-Wafer und quadratische 125- und 156-mm-Zellen bis zur Massenproduktion. Neben Siliziumwafern können die Öfen auch für die Herstellung von Solarbatterien und photovoltaischen Stromversorgungssystemen (PV) durch Phosphordiffusion, Bordiffusion, pyrogene Oxidation, Nassoxidation, Trockenoxidation, Ausglühen usw. unter Verwendung von POCl3, BBr3 usw. verwendet werden.