Kammerofen VF-3000H

GlühNitrierHochtemperatur

Ein Vertikalofen für die Verarbeitung bei hohen Temperaturen, ideal für die Herstellung von Stromvorrichtungen. Unterstützt Oxynitrieren und Wafer von bis zu 8 Zoll Größe. Verfügt über einen automatischen Wafer-Transfermechanismus und kann für Anwendungen von Forschung und Entwicklung bis hin zur Massenproduktion eingesetzt werden. Merkmale Unterstützt Losgrößen von Mini-Batches bis hin zu 50 Wafern und Anwendungen von der Forschung und Entwicklung bis hin zum Einsatz in Massenproduktionsanlagen. Unterstützt eine breite Palette von Wafergrößen bis zu 8 Zoll. Ermöglicht die Temperaturüberwachung in Wafernähe. Der Ofeninnenraum ist mit unserer eigenen metallfreien Konstruktion ausgestattet. Unterstützt die Serienverarbeitung verschiedener Oxidations-/Oxynitrierprozesse (Nass-/Trockenoxidation, H2-Glühen, NH3-Nitrieren, NO/N2O-Oxynitrieren). Kammerreinigungsmechanismus (Option)