Kammerofen CLH Series

BackAlterungGlüh

Das hitzebeständige Hochleistungsfilter und das einzigartige Kühlaggregat ermöglichen das Hochtemperaturbacken in sauberer Umgebung. Ein Heißluftzirkulationssystem dient zur hochpräzisen Durchführung von Backen/Altern von Wafer- und Glassubstraten, Polyimidhärtung und Glühen. Merkmale Für das Hochtemperatur-Backen sind ein hitzebeständiger Hochleistungsfilter und unsere einzigartige Kühleinheit installiert. Der Innenraum der Kammer kann bei stabiler Temperatur die Reinheit der Klasse 100 aufrechterhalten. Es gibt 2 Heißluftgebläsetypen: Stirnseitengebläse mit horizontaler Zirkulation (Typ V) und Seitengebläse (Typ III). Beide erreichen einen hohen thermischen Wirkungsgrad und eine gute Temperaturgleichmäßigkeit. Diese Art von Ofen ist optimal für das Backen von Halbleiterwafern und Glassubstraten, das Altern und andere Wärmebehandlungen, die eine hohe Genauigkeit erfordern. In die Kammern können Schutzgase eingeleitet werden, um die Öfen als Schutzgasöfen zu nutzen.