In hohem Grade kosteneffektiv, langlebig, Einheitsheizungen der Schwermessgerätspule (HGC) für die thermische Verarbeitung des Halbleiters
Diese HGC-Heizungen, die an bis zu 1250°C der maximalen Betriebstemperatur verwendbar sind, sind optimal, da die Einheitsheizungen wiederholt verhältnismässig Hochtemperaturwärmebehandlungen für Halbleiterdiffusionsöfen durchführen. Die Wärmequellen unter Verwendung der Schwermessgerätspulen sind in hohem Grade dauerhaft und verwirklichen lange Nutzungsdauer.
---