Glockenofen 206A

GlühThermoOxidation

Dieser Horizontalofen eignet sich für die Produktion von Solarbatterien und Photovoltaik (PV)-Zellen. es können 100 bis 156 quadratische Wafer in einer Charge von 200 bis 400 Wafern pro Stück verarbeitet werden. Merkmale Marktanteil Nr. 1 auf dem Inlandsmarkt Verarbeitet 100- bis 200-mm-Quadratwafer Batch: 200 bis 400 Wafer können verarbeitet werden (abhängig von der Länge der Flachzone und dem Waferabstand) Schnelles Aufheizen und Abkühlen, reduzierter Stromverbrauch durch KTS' exklusiven LGO-Heizer Dieser Horizontalofen zur Herstellung von Solarbatterien und Photovoltaikzellen (PV) verarbeitet quadratische 125-mm- und 156-mm-Photovoltaikzellen sowie 6- und 8-Zoll-Wafer. Als optimaler Ofen für die Herstellung von Solarbatterien und Photovoltaikzellen (PV) kann er Phosphordiffusion, Bordiffusion, pyrogene Oxidation, Nassoxidation, Trockenoxidation, Glühen und andere thermische Prozesse für Kristallsysteme mit POCl3, BBr3 und anderen Materialien durchführen.