Die Massendurchflussregler und -messer, die den Massendurchfluss messen, werden im Vergleich zu mechanischen Durchflussmessern und -ventilen weniger von Temperatur und Druck beeinflusst und können Informationen über den Durchfluss elektrisch austauschen. Sie werden in einer Vielzahl von Prozessen und Geräten in Bereichen eingesetzt, in denen ein hohes Maß an Genauigkeit, Wiederholbarkeit, Reaktionsfähigkeit und Kosteneffizienz erforderlich ist, wie z. B. in der Halbleiterindustrie, bei optischen Fasern, verschiedenen Analysen, Brennstoffzellen, Flüssigkristallen, organischer Elektrolumineszenz, in der Biotechnologie, in der Lebensmittelindustrie, in der Umweltmesstechnik, bei der Kontrolle von Verbrennungsgasen, in Anlagen und Untersuchungsgeräten.
■Anwendbares Gas:N₂,Luft,H₂,He,Ar,O₂,CO₂ etc.
■Durchflussbereich:10SCCM~50SLM
■Genauigkeit:±3~5%F.S.
---