Kompakte, handliche Massendurchflussregelung/Messeinheit
■Anwendbares Gas:N₂,Luft,H₂,He,Ar,O₂,CO₂ etc.
■Durchflussbereich:1SCCM~20SLM
Kompaktes, handliches Durchflusskontroll-/Messgerät, das aus der Kombination eines kompakten Auslesegeräts CR-400B und MFC/MFM besteht.
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