Massendurchflussregler 5100

für GasEdelstahlanalog

■Anwendbares Gas：N₂,Luft,H₂,He,Ar,O₂,CO₂ etc. ■Durchflussbereich：1SCCM～20SLM ■Genauigkeit：±1%F.S. Metallische Dichtungen. Regelung von kleinsten Durchflüssen ab F.S.1SCCM durch N₂-Umwandlung möglich. Reduziertes Totvolumen dank des Membransitzventils. Anwendungen ・Luftprobenahme ・Analysator-Komponente ・Bioreaktor ・Biotechnologischer Prozess ・Brennkontrolle ・CCFL-Herstellung ・Kammerdruckregelung ・Chemischer Prozess ・Umweltüberwachung ・Elektronische Geräteherstellung ・Lebensmittelherstellung ・Brennstoffzellenprüfung ・Fermentationsprozess gasmischung gasverteilung überwachung des Gasflusses ・Gaserzeugung ・Industrieofen ・Leckprüfung ・Pharmazeutischer Prozess ・Verschmutzungsüberwachung ・Prozess-Durchflusskontrolle ・F&E ・Solarstromelement-Herstellung ・Sekundäre Kalibrierungsreferenz ・Halbleiterprozess ・Oberflächenbehandlungsverfahren ・Thermisches Flammenspray ・Dünnschichtherstellung ・Aufdampfen