Waferkanten-Messsystem WATOM 150/200mm

mit KameraautomatisiertProfilometer

Automatisierter Waferkanten-Profiler WATOM 150/200mm Waferkantenmessung - Zuverlässige Projektionstechnologie WATOM CCD nutzt die Profilprojektionstechnologie als Alternative zur LS-Technologie und bietet die ideale Lösung für weniger anspruchsvolle Profilmessanforderungen, insbesondere wenn keine Kerbenmessung erforderlich ist. Eine CMOS-Kamera nimmt das Profilbild der Waferkante auf, das von einer telezentrischen Lichtquelle beleuchtet wird. Das modulare Design von WATOM ist darauf vorbereitet, mit verschiedenen Automatisierungslösungen für moderne Halbleiterfertigungsprozesse kombiniert zu werden, unabhängig davon, ob einzelne Wafer manuell geladen werden oder ein automatisches Materialhandhabungssystem (AMHS) vorhanden ist.