Waferkanten-Messsystem WATOM 200/300mm

optischLaserautomatisiert

Automatisierter Wafer Edge Profiler WATOM 200/300mm Waferkantenmessung - punktgenau und präzise Die Verwendung immer kleinerer Muster in der Halbleiterindustrie erfordert immer fortschrittlichere Materialien von extrem hoher Qualität. Als Antwort auf die stetige Verbesserung der Waferqualität hat KoCoS Optical Measurement das WATOM entwickelt, ein Waferkanten- und Kerbprofilmessgerät, das eine neue Ära der extrem präzisen Wafergeometriemessung einläutet. Das patentierte Messverfahren von WATOM LS nutzt einen Lichtsensor, um das Profil der Waferkante, einschließlich des Profils im Notch, punktgenau zu messen. Mit einer CMOS-Kamera werden Bilder der Laserlinie aufgenommen, die durch das Kantenprofil erzeugt wird. Ein von KoCoS entwickelter mathematischer Algorithmus wird dann zur Bestimmung der Kantenprofileigenschaften verwendet. Der modulare Aufbau von WATOM ist darauf vorbereitet, mit verschiedenen Automatisierungslösungen für moderne Halbleiterfertigungsprozesse kombiniert zu werden, unabhängig davon, ob einzelne Wafer manuell beladen werden oder ein automatisches Materialhandhabungssystem (AMHS) vorhanden ist.