Mehrachsen-Positioniersystem

LaserBrückenPräzision

• Schwingungsdämpfende Ausführungen • Integriertes Kabelmanagement • Inline-Integration für Fertigungsstraßen • Finite-Elemente-Methode (FEM) optimiert Hohe Präzision und Dynamiken über einen großen Arbeitsbereich fordern einen stabilen Aufbau und eine hochwertige Komponentenzusammenstellung. Hierzu werden von KML-Gantry-Lösungen maßgeschneidert auf die Bedürfnisse der modernen Fertigungsstraßen entwickelt und produziert. Mit diesen Lösungen können kürzeste Durchbringungszeiten realisiert werden. Dies geschieht bei gleichzeitger Reduktion der Ablauffehler im jeweiligen Point-of-Interest (POI). Neben den üblichen Kundenanforderungen wie bewegte Masse, Verfahrbereiche, Zyklusdefinitionen, uvm. mussten zusätzliche Eigenschaften berücksichtigt werden. Diese waren bspw.: • Temperaturstabilier Aufbau • Höchste Ablaufgenauigkeit (Gieren/Nicken/Rollen) • Reinraumtauglich • Schnelle Implementierung in die vorhandene Fertigungsstraße • Aktive Schwingungsentkopplung • Ausführungen mit Luftlager • Konturbearbeitung • Bonding-Applikationen • Prozessgeräte für die Lithografie • Maskenbelichter • Semiconductor • Laserbearbeitung