Linearer Tisch

drehbarMehrachsenRollen

• Kompakte Bauweise • Einheitliche Schnittstelle • Höchste Steifigkeit • Rundlaufgenauigkeiten im µm-Bereich Unterschiedliche Direktantriebstechnologien sind optimal geeignet, dass Manipulationsaufgaben in einem äußerst kleinen Raum präzise und zuverlässig realisiert werden können. Linear-Schwenk- oder Dreh-Hub-Applikationen erfordern dabei eine Kombination aus rotativer und linearer Antriebsbewegung. Die bei KML verfügbaren Antriebstechnologien werden mittels Torque- und Linearmotortechnik zu einer optimalen Bewegungslösung vereint. Neben den üblichen Kundenanforderungen für nass-chemische Bearbeitungsprozesse mussten zusätzliche Systemanforderungen berücksichtigt werden. Diese waren bspw.: • Kompakte Bauweise • Einheitliche Schnittstelle (mech. /elektr.) • Höchste Steifigkeit des Gesamtsystems gegen hochdynamische wechselwirkende Belastungen • Rundlaufgenauigkeiten der Dreheinheit im µm-Bereich • Spezielle Werkstoffe gegen extrem aggressive Medien (Säuren, …) • Systemeignung für höchste Reinraumklassifizierung • Zuverlässigkeit und Standfestigkeit • Nahezu 100%ige Maschinenverfügbarkeit • Wartungsfreundlich Eine integrale und kompakte Systemlösung wurde durch zuhilfenahme modernster FEM-Methodik mit höchster Eigensteifigkeit erreicht: • Gussgrundkörper aus verdichtetem Werkstoff • Drehachse mit Kugelgewindetrieb für vertikal Bewegung • Spezielle Hochgenauigkeits-Lagerhybridpaarung für Drehachse • Hohlwellendirektantrieb sowie Servomotor-Technologie • Vorgespannte Edelstahl-Rollenführungen • Sonderschmierstoff für alle bewegten Bauteile • Oberflächen-Spezialbeschichtung • Vakuumkammersystem für Partikelunterdrückung