Einachsiges Positioniersystem

Laseroptischlinear

• Dynamischste Bewegungen • Höchste Positioniergenauigkeit • Hohe Systemsteifigkeit • Geringste Partikelemission Das Hochgeschwindigkeit Linearmotorsystem ist für den Einsatz als Vorschubachse in einer Halbleiterfertigungsmaschine, zur Erreichung überragender Produktivität und Prozesssicherheit, entwickelt worden. Neben den üblichen Kundenanforderungen wie bewegte Masse, Verfahrbereiche, Zyklusdefinitionen, uvm. mussten zusätzliche Eigenschaften berücksichtigt werden. Diese waren bspw.: • Äußerst kompakte Bauform • Höchste Gleichlaufgüte (Cogging) • Wartungsfreiheit • Schnelle Inbetriebnahme • Absolute Positionsrückmeldung • Kabelmanagement für kundenspezifische Leitungen Das Hochgeschwindigkeit Linearmotorsystem wurde speziell für Anwendungen mit hoher Positioniergenauigkeit entwickelt. Es bietet die Möglichkeit, ein kundenspezifisches Schlitten- und Grundplattenbohrbild zu verwenden, um den individuellen Anforderungen gerecht zu werden. Darüber hinaus ist das System in einer reinraumtauglichen Ausführung konzipiert, um den Einsatz in sensiblen Umgebungen zu ermöglichen. Zur Erleichterung der Erstinbetriebnahme wird ein Parametersatz mitgeliefert, der eine schnelle und effiziente Inbetriebnahme ermöglicht. • Waferhandling • Substrathandling • E-Mobility • Medizintechnik • Laserbearbeitung • Optisches Linsenhandling